荷蘭芯片新規(guī)今日生效之際，ASML年底前仍將對華銷售先進DUV光刻機｜硅基世界

荷蘭芯片新規(guī)今日生效之際，ASML年底前仍將對華銷售先進DUV光刻機｜硅基世界

阿斯麥ASML參展2022上海進博會（圖片來源：鈦媒體App編輯拍攝）

當(dāng)?shù)貢r間9月1日，荷蘭政府今年6月公布的針對芯片制造設(shè)備的出口管制措施正式生效。根據(jù)新規(guī)，特定的先進半導(dǎo)體制造相關(guān)物項從荷蘭出口至歐盟以外的目的地須事先向荷蘭海關(guān)申請出口許可。

不過在期限到來前夕，9月1日上午，荷蘭光刻機巨頭阿斯麥ASML公司（NASDAQ：ASML/AMS：ASML）在發(fā)給鈦媒體App的一份聲明中證實：

目前，ASML已向荷蘭政府提出TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)的出口許可證申請，荷蘭政府也已經(jīng)頒發(fā)了我們截至9月1日所需的許可證，允許ASML今年繼續(xù)發(fā)運TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)。（注：涉及16nm及以下制程工藝制造部分）

ASML表示，在新的出口管制條例下，今年年底前，ASML仍然能夠履行與客戶簽訂的合同，發(fā)運這些光刻設(shè)備。ASML預(yù)計出口管制條例不會對公司2023年財務(wù)展望或長期展望產(chǎn)生實質(zhì)性影響。

ASML強調(diào)，“我們的客戶也已知悉出口管制條例所帶來的限制，即自2024年1月1日起，ASML將基本不會獲得向中國客戶發(fā)運這些設(shè)備的出口許可證。”

事實上，隨著荷蘭收緊光刻機出口管制的“靴子”落地后，引發(fā)廣泛討論。那么根據(jù)最新變化，明年1月起，ASML三款先進浸沒式深紫外光刻機 (DUV) 設(shè)備將不會對中國出口，這對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈將造成深遠(yuǎn)的影響。

美國出口管制下產(chǎn)業(yè)鏈夾縫求生

2018年中美貿(mào)易摩擦肇始，此后美國政府不斷推出各類限制和禁令，層層加碼圍堵中國芯片、AI等高科技產(chǎn)業(yè)，其中受限的不僅僅是中國和美國企業(yè)，韓國、日本、荷蘭等半導(dǎo)體領(lǐng)域企業(yè)都不得不“選邊站隊”。

而從去年底開始，美國政府不斷向日本和歐洲施壓，要求采取嚴(yán)格措施實施出口管制，最終荷蘭、日本等國家出臺法令。

• 今年3月，日本政府發(fā)布了關(guān)于修改出口管制規(guī)則省令的征求意見稿，增加對先進半導(dǎo)體制造所需的23個品類的半導(dǎo)體設(shè)備追加出口管制，主要涵蓋清洗設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、熱處理設(shè)備、 先進制程光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備和測試設(shè)備等。根據(jù)日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的《外匯及外國貿(mào)易法》修訂版，上述23個品類向中國等國家和地區(qū)出口時，每次都需要獲得許可，而此前原則上無需獲得許可。相關(guān)新規(guī)于7月23日開始實施。
• 荷蘭政府在今年3月初致函國會函中表明，將采取更加嚴(yán)格的半導(dǎo)體出口管制措施，限制對華銷售光刻設(shè)備以及芯片技術(shù)，其中一項技術(shù)是DUV光刻機——這是ASML在售的第二先進芯片制造設(shè)備。荷蘭政府表示，該國在這些技術(shù)中具有獨特和領(lǐng)先的地位。出于國家和國際安全的考慮，荷蘭有必要盡快控制這項技術(shù)，因此政府還將通過公共部級法規(guī)建立一個國家清單，與多邊進程平行和互補。相關(guān)新規(guī)于9月1日起生效。

君合律師事務(wù)所團隊在一份報告中指出，美國、日本和荷蘭的出口限制措施將嚴(yán)重阻礙中國先進半導(dǎo)體制造，甚至是傳統(tǒng)半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展。

ASML是目前全球唯一一家能夠生產(chǎn)7nm及以下芯片所需要的極紫外（EUV）光刻機提供商，但由于之前的禁令，此類最尖端的產(chǎn)品一直無法出口到中國。ASML出口中國的產(chǎn)品主要是生產(chǎn)7nm以上的DUV光刻機，但DUV設(shè)備不如EUV先進。

ASML公司2022年報顯示，中國是其第三大市場，收入為29.16億歐元，占比達(dá)到14%，連續(xù)五年營收年均復(fù)合增長率為26%。另一份SEMI（國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會）數(shù)據(jù)顯示，中國大陸已連續(xù)三年成為全球最大半導(dǎo)體設(shè)備市場，2022年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備出貨量達(dá)到1076億美元。

20152022年荷蘭光刻機進口情況及阿斯麥中國大陸銷售額

據(jù)海關(guān)總署數(shù)據(jù)，2015年2022年，中國從荷蘭進口光刻機總額145.08億美元，進口總數(shù)690臺，平均每臺超過2100萬美元。在此期間，進口金額每年持續(xù)增長。而中國從荷蘭進口的光刻機幾乎完全來自阿斯麥。

2015年2022年，ASML中國大陸銷售總額152.32億美元，與中國從荷蘭進口光刻機總額相差不到5個百分點，考慮到運費、匯率計算等差異，二者幾乎相等。

環(huán)球時報引述行業(yè)人士指出，放棄中國市場意味著ASML丟失了一個最具潛力的增長點。阿斯麥CEO彼得·溫寧克也對美國要求荷蘭限制半導(dǎo)體方面的對華出口提出過質(zhì)疑，并直言“阿斯麥已經(jīng)做出了犧牲”。

海關(guān)總署數(shù)據(jù)顯示，2022年，中國半導(dǎo)體設(shè)備的進口額比2021年減少15%，為347億美元，3年來首次減少，尤其對日本、荷蘭和美國設(shè)備出口大幅降低。根據(jù)行業(yè)統(tǒng)計，2022年10月12月，日本設(shè)備對中國出口額同比上年同期減少16%，美國減少50%，荷蘭減少44%。

美國設(shè)備巨頭泛林集團(Lam Research)指出，由于出口管制，2023年的營業(yè)收入或?qū)p少20億～25億美元。規(guī)模占整體的1成左右；美國應(yīng)用材料凈利潤從去年第三季報開始同比下降，直至今年第二季度同比增長約2.54%。

日本東京電子（Tokyo Electron）近日發(fā)布的截至今年3月31日的第四季財報，凈利潤同比下降約6%，而2021年度營收中對中國出口占26%。該公司執(zhí)行董事川本弘表示，如果無法獲得美國設(shè)備與技術(shù)，中國半導(dǎo)體廠商就無法生產(chǎn)，其實其設(shè)備也賣不出去。

ASML此前對鈦媒體App表示，新的出口管制措施并不針對所有浸潤式光刻系統(tǒng)，而只涉及所謂“最先進”的浸潤式光刻系統(tǒng)，即TWINSCANNXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤式光刻系統(tǒng)。

據(jù)悉，NXT: 2000i及后續(xù)光刻系統(tǒng)半間距為38nm、對準(zhǔn)精度為2.0nm以內(nèi)，對應(yīng)是16nm至7nm先進制程芯片的制造（基于芯片類型不同，也可用在45nm及以下的成熟制程當(dāng)中），因此業(yè)界普遍認(rèn)為，此次受限制的是16nm及以下制程工藝制造。

ASML在一份聲明中強調(diào)，先進程度相對較低的浸潤式光刻系統(tǒng)已能很好滿足成熟制程為主的客戶的需求。最后，ASML的長期展望的基礎(chǔ)是全球長期需求和技術(shù)趨勢，而不是對具體地域的預(yù)期。

芯片設(shè)備國產(chǎn)替代和搶購狂潮

“我們在半導(dǎo)體行業(yè)與國外企業(yè)存在巨大差距，在技術(shù)、關(guān)鍵零部件和人才方面面臨著巨大的挑戰(zhàn)。”2023半導(dǎo)體設(shè)備年會期間，泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司創(chuàng)始人、執(zhí)行總裁林堅表示，如果沒有美國制裁，中國半導(dǎo)體行業(yè)可能會繼續(xù)走老路，作為純粹的芯片設(shè)備買家為他人制造，但現(xiàn)在整個行業(yè)團結(jié)了起來。

截至目前，中國半導(dǎo)體設(shè)備及零部件企業(yè)數(shù)量已超過200家。據(jù)統(tǒng)計，2022年，77家規(guī)模以上的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)收入累計達(dá)593億元，同比增長53.6%，其中前十大企業(yè)營收占總收入的73.9%。

根據(jù)行業(yè)預(yù)估，預(yù)計到2025年，中國半導(dǎo)體設(shè)備市場將翻一番，達(dá)到600億元人民幣（約合83億美元）。

作為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場，中國正加大國產(chǎn)替代和設(shè)備搶購狂潮。

沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備股份有限公司董事長鄭廣文表示，有很長一段時間，中國芯片設(shè)計公司不會選擇在國內(nèi)晶圓廠流片，晶圓廠不愿意使用國產(chǎn)設(shè)備，國內(nèi)設(shè)備公司也不會從國內(nèi)零部件供應(yīng)商那里購買零部件。但如今，國內(nèi)晶圓廠開始和國內(nèi)廠商合作。

目前在中國受到美清單制裁的1000余家實體中，有60%左右被列入出口管制實體清單，對這些企業(yè)的制裁均是為了限制中國獲取相關(guān)技術(shù)。而這些受美國出口管制的芯片企業(yè)，基本面臨兩個選擇：一是通過和國內(nèi)企業(yè)“抱團取暖”形成新的產(chǎn)業(yè)鏈體系；二是通過股權(quán)變更、企業(yè)更名等方式繞過“實體清單”重新與客戶實施供應(yīng)，主要原因是國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)技術(shù)較為薄弱。

目前，中國在半導(dǎo)體設(shè)備環(huán)節(jié)的話語權(quán)不大、國產(chǎn)化率極低。光刻環(huán)節(jié)，7nm及以下先進芯片制造工藝荷蘭ASML是唯一的供應(yīng)商；芯片制造前道工序中的刻蝕、涂膠顯影、離子注入等設(shè)備基本被美、日企業(yè)壟斷，以訂單金額來計算，中國晶圓代工行業(yè)的前道設(shè)備國產(chǎn)化率普遍不足10%，部分設(shè)備更是低至2%左右；刻蝕機市場，2020年，美國泛林、應(yīng)用材料公司和東京電子三家就占到了91%的市場份額。

短期內(nèi)，在新規(guī)實施之前，搶購光刻機設(shè)備似乎成為除“國產(chǎn)替代”之外的新途徑。

據(jù)中國海關(guān)總署數(shù)據(jù)，2022年，中國光刻機進口總額39.63億美元，其中從荷蘭進口額25.48億美元，占比64.3%。2023年17月，從荷蘭進口額為25.86億美元，同比增長64.8%，7月份進口額為6.26億美元，是去年同期的近8倍，環(huán)比下降28.4%。

2023年17月荷蘭光刻機迸口情況

同時，僅6月，中國從日本進口半導(dǎo)體設(shè)備逐月走高，中國進口額同比、環(huán)比均增長約四成。單品中，光刻機進口增長迅猛，當(dāng)月進口金額達(dá)到6245萬美元，同比、環(huán)比均增長約1.3倍，今年上半年單臺光刻機價格也同比上漲約17%。

行業(yè)人士指出，由于中國境內(nèi)廠商尋求替代美國產(chǎn)品，近年來使得日本、荷蘭吃到了美國設(shè)備替代紅利。目前，佳能等日本光刻機設(shè)備在中國銷量很好，雖然生產(chǎn)效率不及荷蘭ASML光刻機，但也在使用其產(chǎn)品，尤其在非一線大廠里，日本光刻機應(yīng)用比較廣泛。

據(jù)集微咨詢統(tǒng)計，2023年17月，進口光刻機的省市有上海、北京、湖北、江蘇、廣東、安徽、浙江、山東、福建、天津、陜西和重慶。

從長期來看，隨著光刻機設(shè)備進口受限，國內(nèi)仍將加大半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化力度。

據(jù)芯謀研究統(tǒng)計，2020年至2023年，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額從9.9億美元增長至33億美元，市場占比從7%增加至11%。

“中國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化已經(jīng)邁出了第一步，在一些領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)從0到1的突破，但國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備還需要解決穩(wěn)定性、可靠性等問題。”在今年7月半導(dǎo)體設(shè)備年會期間，業(yè)內(nèi)人士指出，這需要一個過程，而本土半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展，一方面要向上游推進半導(dǎo)體設(shè)備的零部件國產(chǎn)化，尊重知識產(chǎn)權(quán)，夯實產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)；另一方面，需要向平臺型企業(yè)進軍，提升綜合實力。

芯片設(shè)備企業(yè)中微半導(dǎo)體公司（AMEC）創(chuàng)始人、董事長兼CEO尹志堯呼吁，高科技領(lǐng)域的競爭是一個正常的現(xiàn)象，是推動科技發(fā)展的動力，但這種競爭必須是公平、合理、有序的。政府和行業(yè)應(yīng)該制定一些公平競爭的法則和規(guī)范，降低內(nèi)卷。

“中國要想把國內(nèi)芯片設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展起來，一定要合起來干，能夠互相配合，而不是惡性競爭。”尹志堯表示。

（本文首發(fā)鈦媒體App，作者｜林志佳，編輯｜馬金男）